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產(chǎn)品分類 / PRODUCTS
江蘇川遠(yuǎn)儀器儀表有限公司
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產(chǎn)品名稱:電容薄膜真空計(jì)

 產(chǎn)品描述

電容薄膜規(guī)是?種膜?受到壓?后產(chǎn)?形變的引起電容變化并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的傳感器,信號(hào)的強(qiáng)弱由其檢測(cè)的壓???決定。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 測(cè)量全程數(shù)字化,量程在范圍內(nèi)任意遷移

? 數(shù)字通訊,避免?次儀表誤差,簡(jiǎn)化控制設(shè)備

? 強(qiáng)?的抗過載能?

? 快速的響應(yīng)時(shí)間

? 實(shí)測(cè)性能超越對(duì)外發(fā)布規(guī)格

? ?精度,?穩(wěn)定性

? 超寬補(bǔ)償溫度范圍:-20~+80 ℃

? 模擬信號(hào)任意遷移

? 量程范圍: 10%-100%

? 替代傳統(tǒng)模擬信號(hào)電容薄膜規(guī)

? 快速開機(jī)預(yù)熱時(shí)間5s

? 壓?誤差:2.0‰,電壓誤差:1‰

產(chǎn)品應(yīng)?

? ?要求的應(yīng)?條件下, ?快速的壓強(qiáng)測(cè)量

? ?于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備

? 半導(dǎo)體,光學(xué),航空航天和化學(xué)制造

? 冷凍,?燥制造設(shè)備

? ?精度,?重復(fù)性真空測(cè)量

? ?業(yè)真空設(shè)備

性能和參數(shù)

供電 :24VDC(紋波?于10%)

?作電流 :20mA

輸出阻抗 :0(短路保護(hù))

響應(yīng)時(shí)間:<100 ms

調(diào)零?式 :?板按鍵或軟件寫?

過載壓? :>5atm

輸出 :,0~10VDC, 4-20mA,,RS485等

重量 :約285克

繼電器輸出: 2xRelay

繼電器負(fù)載:2A 30VDC 0.5A 125VAC

電?連接 :D-Sub 9

溫度補(bǔ)償范圍: -20-80℃

精度 ±0.2%RDG:(±零點(diǎn)漂移,±分辨率)

使?溫度范圍;-40-125℃

溫度影響: 0.005% F.S./℃

儲(chǔ)存溫度范圍: -40-125℃

分辨率;0.01%F.S.

防護(hù) :IP40

介質(zhì)接觸材質(zhì): Al2O3 和316L不銹鋼

外殼 :316L不銹鋼

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