產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量控制器
質(zhì)量流量檢測(cè)
與空氣、燃?xì)獾氖褂脺囟?、壓力無(wú)關(guān)，可測(cè)量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。
（* 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量是指在1個(gè)大氣壓、0°C（或20°C）時(shí)的體積流量。）
寬廣的檢測(cè)范圍
相對(duì)于較大測(cè)量流量的低流量區(qū)域，一般的氣體流量計(jì)都難于檢測(cè)，通過搭載μF傳感器，可實(shí)現(xiàn)寬廣范圍的測(cè)量、控制。實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量流量計(jì)CMS的可調(diào)比100：1、大流量質(zhì)量流量計(jì)CML的可調(diào)比160：1（測(cè)量范圍為1,280：1）的高可調(diào)比！
適合于空氣及燃?xì)獾氖褂昧康墓芾?、及?jié)能的漏氣管理。
快速響應(yīng)
細(xì)微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了快速響應(yīng)。
低圧損構(gòu)造
F傳感器設(shè)置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點(diǎn)。適合于低圧氣體流量的檢測(cè)、控制。
高精度
μF傳感器隨時(shí)間的特性變化非常小，能長(zhǎng)期保持高精度。
各種功能
通過控制機(jī)器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計(jì)沒有的各種功能。
瞬時(shí)／累積流量顯示、燃?xì)夥N類切換功能、上下限報(bào)警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等?。? 因產(chǎn)品而異）
種類豐富的產(chǎn)品
根據(jù)使用用途，備有從5mL/min型號(hào)到500L/min型號(hào)的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。
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